近场光谱术（near-field spectroscopy），工学-光学工程-光学应用-光学测量-微纳米测量-近场光学，以亚波长的空间分辨力获得物体表面非辐射场携带的光谱信息的方法。是光谱分析技术与近场光学技术的结合。在近场光学体系中，衍射极限不再成为制约分辨力的因素。因此基于近场光学原理的光谱检测也能够达到远优于传统远场光谱技术的超衍射极限空间分辨力。近场光谱检测系统通常由光谱仪与扫描近场光学显微镜或原子力显微镜组合而成。借助扫描近场光学显微镜或原子力显微镜的探针，物体表面的隐失波被转换成传导波并为远端的光谱仪接收。近场光谱术可以同时给出形貌和与之对应的局部光谱信息，表面形貌与特征光谱的对照使得纳米尺度的不同物质更容易区分。扫描近场拉曼显微镜是最常见的近场光谱仪器。根据所用探针的不同，扫描近场拉曼显微镜可以工作在直接检测和针尖增强两种模式下。当使用有孔的光纤探针时，探针作为光源，激光从孔径出射打在物体表面产生隐失波，再由探针转换成传导波进入光谱仪。为提高信噪比，须提高光照强度。因此此类探针工作时温度较高。因存在孔径，此类探针直径也相对较大，分辨力略差。