散斑干涉仪(speckle interferometer),工学-仪器科学与技术-光学仪器-干涉仪,利用参考光束与散斑光束叠加产生干涉进行测量的干涉仪器。原理激光射到物体的粗糙表面上时,该物体上各点散射的光强位相是随机分布的,相加以后的振幅与位相都是随机的,故在粗糙表面前面的空间将布满明暗相同的亮斑与暗斑,这些亮斑与暗斑的分布是杂乱的,称为散斑,布满整个空间。散斑的大小几乎与表面的衍射极限爱里斑的大小同数量级。因为粗糙度大于光波波长,所以物体各点发出子波到达观察点的位相是随机分布的。当激光照明粗糙物面时,由于粗糙表面不同位置的散射光之间的干涉,会形成随距离变化非常细小的随机干涉反射或者是散射光束,如果用一个屏幕观测光束截面的光斑,就可以发现这个亮光斑中有不同的小黑点而且在不断随机变化,这种现象就是光斑的散斑图案。将激光束分一束光作为相干参考光,可以是平面波、球面波,甚至是另一粗糙面的散斑场。1970年,法国科学家J.伦德茨(J.Leendertz)提出了利用散斑干涉实现对粗糙表面样品的移动与变形测量的散斑干涉技术,从此开启散斑干涉计量方向。