接触式测量（contact measurement），工学-光学工程-光学应用-光学测量-自由曲面测量，在机械手臂末端安装触针，测量时测球和样品表面直接接触，触针跟随样品表面的起伏而上下移动，通过检测触针在垂直方向的位移，即可得到被测样品的表面形貌的测量方法。接触式测量不受表面的反射特性、颜色及斜率影响。配合测量软件，可快速准确地测出物体的基本几何形状，如面、圆柱、圆球等。图1是接触式扫描测量的示意图。接触式测量的机械结构及电子系统已发展成熟，有较高的准确性和可靠性，测量精度可达到亚纳米级，被广泛应用于机械制造业。机械触针测量系统的关键部件是感知位移变化量的单元。已开发出多种方式的位移传感单元，如电容式、电感式、电磁传感式及压阻式等。测头的触针针尖多选用金刚石或者红宝石等硬度极高的材料。常用的接触式测量系统是三坐标测量机。三坐标测量机是一种有效可靠的三维数字化设备。传统的坐标测量机多采用机械探针等触发式测头，可通过编程规划测量路径进行点位测量，每一次获取被测形面上一点的三维坐标值，测量精度高，以逐点进出方式进行测量，测量速度较慢。