微纳米测量

微纳米测量（micronanoscale measurement），工学-光学工程-光学应用-光学测量-微纳米测量，采用微纳米尺度进行测量的方法。微纳米测量主要是：①在微纳米尺度下对力、声、光、热、电、磁等物理特性进行测量，空间分辨率要求达到亚微米或纳米量级。②长度量（如表面形貌）的测量分辨力达到纳米量级，甚至亚纳米量级。根据数据获取及处理的形式不同，微纳米测量分为直接空间法和倒易空间法。直接空间法可直接得到被测对象的结构信息，如扫描探针显微术、扫描或透射电子显微术、干涉显微术、X射线显微成像术、超分辨荧光显微术等；倒易空间法需借助于数学模型才能导出被测对象的结构信息，且是平均化信息。如椭圆偏振光谱术、小角X射线散射术、X射线衍射术等。微纳米测量基于的物理效应呈多样化发展，其中基于各种光学原理的测量方法是重要的组成部分。由于微纳材料、结构与器件在尺度上的特殊性，而且纳米级分辨率的几何量测量也是其他特性测量的前提和基础。在微纳测试技术领域，微纳尺度几何量和运动特性的测试理论与技术得到了广泛的关注。光的干涉是基本的物理现象。