线纹标准器

线纹标准器（reference artefact of line scale），工学-仪器科学与技术-计量学-几何量计量学-实物标准器，利用刻线作为几何要素提供参考长度量值的实物标准器。线纹标准器用于长度计量的量值传递，可分为一维和二维线纹标准器，溯源至国家线纹工作基准。一维线纹标准器又称线纹尺，是用金属或玻璃作为基底材料制成，工作面上刻有平行线，利用平行线间的距离复现长度单位，构成多值量具，量值定义如图1所示。一维线纹标准器包括金属线纹尺、玻璃线纹尺、显微标尺、钢卷尺、钢直尺、基线尺、水准标尺等，依据等级可分为基准线纹尺、标准线纹尺和工作线纹尺。图1 一维线纹标准器量值示意图二维线纹标准器又称二维光学标准器，如图2所示，表面刻有间距相等或不等的纵横刻线、网格、十字状刻线等各种形状标记，常用石英玻璃或光学玻璃作为基底材料制造。二维线纹标准器通常使用交点处的圆点标记的坐标作为量值传递的值。主要用于校准或评价影像类加工机床或测量装置的二维测长误差和探测误差等，广泛用于光刻机、光学影像测量仪、光学显微镜等精密设备的修正及校准。