硅基调制器

硅基调制器（silicon-based modulator），工学-光学工程-光学应用-光纤与光通信-硅基调制器，以硅基半导体为主要材料制作而成的光调制器。硅基光学调制过程是一个通过各种能量形式使硅基半导体材料折射率发生变化的过程。硅作为一种储量丰富的资源其成本极其低廉，与其他光调制器相比，硅基调制器制作成本较低，结构紧凑易于集成，能与互补金属氧化物半导体工艺兼容，在光交换系统和芯片光互联中具有很大的应用前景。电光调制器至少能够达到50吉特比每秒调制速率，在尺寸上也能满足百微米量级的要求，调制功耗甚至能降低到飞焦每比特。硅基调制器也存在一些不足，由于普通硅材料无法制作激光器，所以光载波需要外加激光源提供。除此之外，与其他高速电光调制器相比，硅基电光调制器的调制效率及调制带宽仍偏低。作为光子集成领域的核心器件之一，硅基调制器能对不同波长的光信号进行实时选择处理，因此研究高调制带宽、小尺寸、低功耗的硅基光调制器具有重要的现实意义。根据调制方式的不同，硅基调制器分为热光调制器、电吸收调制器、电光调制器。