离子减薄仪（ion milling equipment），工学-仪器科学与技术-实验仪器-样品制备仪-制样/消解设备，利用高能粒子束轰击样品表面，致其不断失去原子达到减薄效果的设备。离子减薄仪的原理是用高能离子束轰击样品表面、高能离子与样品表面原子发生弹性碰撞、样品表面原子能量增大至高于该原子的逸出功时，便飞离样品，这样就使样品表面不断失去原子，达到减薄的效果。通常都是用双枪从样品两侧轰击。样品随着支架旋转，使离子束轰击均匀。离子束的强度呈钟形分布，中心最强，最后在样品中心出现穿孔，在孔的周围有一圈楔形薄区可在透射电子显微镜中观察。离子减薄仪的基本结构包括：①样品室，离子减薄仪的主体，包括离子枪、样品台、防污染装置。②真空系统，离子减薄过程必须在真空状态下进行。③供电及控制系统，采用高压供电。④照明及监视系统，用于监视减薄过程，当样品中心穿孔时可及时停机。离子减薄仪的主要应用范围包括金属、非金属、陶瓷、矿物、半导体、骨骼、牙齿等几乎所有固体材料的减薄及透射电子显微镜样品的制备。