硅微陀螺仪（silicon micro gyroscope），工学-航空宇航科学与技术-航天-导航、制导与控制-导航-惯性导航系统-陀螺仪-微机电陀螺仪，利用科里奥利效应来测量物体转动角速率的惯性传感器，是一种微机电陀螺仪。它利用半导体技术（特别是光刻技术、刻蚀工艺等）在硅基底上制造的微型三维力学系统。硅微机械陀螺仪从结构上分，有框架式角振动陀螺、谐振环陀螺、音叉式线振动陀螺及振动轮式陀螺等。硅微陀螺一般存在两个工作模态：驱动模态和检测模态。硅微陀螺仪的系统构成框图如图所示。硅微陀螺仪的系统构成框图以微电子技术和微机械加工为技术基础的硅微机械陀螺仪，与传统的惯性转子陀螺相比，体积大为缩小，质量大大减轻，功耗也大幅度降低；由于没有高速旋转转子，从而可靠性很高，承载能力强；由于采用半导体批量生产工艺，无需复杂的装调过程，可大批量生产，因此价格低；另外还具有易于数字化和智能化，测量范围大等特点，这些特点都是传统陀螺无法比拟的。