波像差计量(wavefront aberration measurement),工学-光学工程-光学应用-光学测量-波像差计量,对实际成像波面与理想球面光波的偏差进行计量的过程。根据瑞利(Rayleigh)判据,当光学系统的最大波像差小于1/4波长时,其成像是完善的。显微物镜和望远物镜等小像差系统应满足此设计要求。波像差计量标准包括平面波像差计量标准、球面波像差计量标准、柱面波像差计量标准等。以激光干涉仪为基础,基于标准平晶、标准球面镜、标准柱面镜,采用移相干涉测试技术,可实现平面面形、平面波像差、球面波像差和柱面波像差的校准和测试。例如,标准平晶是光学平面干涉仪装置的关键元素,以它为基准的测量装置,测量不确定度优于,可实现平面面形、平面波像差校准。随着图像处理技术引入光学干涉计量测试领域,光学系统及零部件的波像差计量已做到实时、快速、高精度、多参数、自动化计量测试。