自填隙原子（selfinterstitial atom），工学-材料科学与工程-材料基础-晶体缺陷-点缺陷，在晶体晶格的热涨落过程中，晶体的某些原子因振动剧烈而形成的填隙原子。由于这些填隙原子是晶体自身原子（非杂质原子）形成的，故称自填隙原子。对于原子数为的晶体，在一定温度下，自填隙原子有一定的平衡浓度。自填隙原子浓度用公式可表示为：式中为自填隙原子形成能；为自填隙原子数；为与振动熵有关的因子。单原子晶体自填隙原子的半径与正常晶体位置原子的半径相同，挤入晶格间隙位置后引起的晶格畸变非常大，其形成能较空位形成能大得多，因此在一定温度下，主要点缺陷是空位，自填隙原子浓度很小。