干涉显微术

干涉显微术（interferometric microscopy），工学-光学工程-光学应用-光学测量-微纳米测量-干涉显微术，利用单色光或白光照明的用于微结构和光滑表面的表面三维形貌测量的显微术。干涉显微术是显微技术和干涉技术结合的产物。与其他光学干涉技术相比，干涉显微术具有表面信息直观、测量精度高和全视场三维测量等优点。特别是相移干涉技术的应用，使得干涉显微术的测量精度和速度提高，离面测量分辨力超过0.1纳米，重复精度达到0.01纳米。根据测量光路与参考光路是否共路，干涉显微仪分为共光路显微干涉仪和分光路显微干涉仪。