高真空系统

高真空系统（high vacuum system），理学-物理学-热学-〔第一批〕，本底压力在l0-3～10-6帕的真空系统。大量用于集成电路及电子器件生产过程。主要是薄膜制备、薄膜加工和处理、微分析技术及真空传输机构的抽空。高真空系统通常由前级泵（如机械真空泵、吸附泵等低真空泵）、主抽泵（如油扩散泵、分子泵等高真空泵）等两级以上的泵联动组成。