砷化镓外延

（工学 | 材料科学与工程）

砷化镓外延（gallium arsenide epitaxy），工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-[半导体材料制备]-[薄膜生长]-半导体外延生长，在砷化镓或其他衬底上生长砷化镓薄膜的技术。