低能离子注入机是一种用于生物学、农学领域的工艺试验仪器，于2013年04月07日启用。一、主要参数:1、离子种类：H+、N+、Ar+、He+；2、离子能量：5-30keV可调；3、剂量率：1×1014ions/cm2?s；4、均匀性：？200mm范围内90%；二、基本配置：A、离子源（H+、N+、Ar+）； B、靶室： 1、主靶室直径：？900mm×800mm；2、样本盘组件：？800mm-中心旋转；6×？200mm定位盘；3、微生境靶室：？100mm×200mm；C、真空系统： 1、JK400型扩散泵组（主靶室）； 2、机械泵（微生境靶室）；3、阀门组；4. 真空计；D、电源组： 1、磁场电源（30V， 10A）； 2、阴极电源(30V， 30A)；3、弧电源(300V， 1A)；4、隔离变压器(50kV，5A)；5、正高压电源（50kV， 100mA）；6、负高压点源（5kV， 100mA）；D、控制和测量系统(束流积分仪)、水冷、供气系统：。