西门子法多晶硅

（材料科学技术）

西门子法多晶硅（polycrystalline silicon by Siemens process），材料科学技术名词，经过精馏提纯的高纯度三氯氢硅(SiHCl3)通过高纯度氢气(H2)还原而制得的多晶硅棒。因制备工艺为西门子公司发明而得名。