场发射扫描电镜

场发射扫描电镜（field emission scanning electron microscope，FESEM），生物物理学名词，一种配有场发射电子枪的扫描电子显微镜。可获得优于钨灯丝扫描电镜的束斑尺寸，从而大大提高成像的分辨率。由此可把二次电子像的分辨率提高到亚纳米尺度。