杂质扩散激活能

杂质扩散激活能，扩散激活能（Diffusion activation energy）是指杂质原子或者母体原子在固体（包括半导体）中扩散的激活能。固体中原子的扩散与温度有很大的关系，即扩散系数D与温度T之间存在指数函数关系：D=Do exp(－Ea/kT)，其中Ea就是原子扩散的激活能。随着温度的升高，扩散系数急剧增大；扩散激活能越大，扩散系数越小。