集成电路线宽

（集成电路行业术语）

集成电路线宽指由特定工艺决定的所能光刻的最小尺寸，一般等于沟道的最小宽度。集成电路线宽指由特定工艺决定的所能光刻的最小尺寸，一般等于沟道的最小宽度。