离子散射分析

（冶金学）
离子散射分析（ion scattering analysis），冶金学名词，离子散射谱常用低能(0.5~3keV)惰性气体离子束以一定角度入射到试样表面，经试样原子散射改变能量而得的表面成分分析技术。
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