二次离子质谱

（冶金学）

二次离子质谱（secondary ion mass spectroscopy，SIMS），冶金学名词，用一次离子束轰击固体试样，溅射出二次离子，再进行质谱分析的方法。表面分析检测灵敏度极高。是目前研究和控制半导体掺杂、表面微量污染唯一的化学分析工具。能提供表面分子化学结构信息，又是研究聚合物表面、生物分子和纳米技术研究的强大工具。