油增压泵是蒸汽流泵的一种，是利用室温下饱和蒸汽压强低于5×10Pa的增压泵油，加热到工作温度后所产生的大量油蒸汽，分别由各级喷嘴喷出而得到的高速蒸汽射流作为介质。被抽气体进入油蒸汽射流内，含气体的油蒸气射流到泵壁被冷却，油蒸汽冷凝后返回油锅，而气体逐级被压缩，最后被前级泵抽走。油增压泵的工作原理与油扩散泵相似，仍然是以靠工作射流来携带气体，达到抽气目的。不同点是油增压泵的射流主要是以靠被抽气体与蒸汽射流之间的粘滞摩擦来携带气体进行抽气。为使油增压泵能在较高的压强区域内工作，必须增大蒸汽射流强度(密度)，所以油增压泵的加热功率要比同容量的油扩散泵大得多。