干涉检测

干涉检测（interference measurement），工学-光学工程-材料与器件-光学设计与加工-光学检测-干涉检测，利用光的干涉对光学面形进行检测的方法。与轮廓检测相比，干涉检测的检测精度高，一般作为光学面形的最终检测手段。其基本原理是由参考光和经待测光学元件表面反射的被检光干涉得到带有光学面形信息的干涉图，通过分析干涉场中条纹明暗疏密的变化和形状变化，获得相关信息评价光学元件表面质量。干涉检测法可以检测平面、球面、非球面及自由曲面等多种光学面形。对于球面镜的面形检测，需要调整干涉仪或待测镜将由干涉仪球面标准镜出射的球面波焦点与待测球面镜的球心重合，检测光经过球面镜反射后能够沿原路返回，与由球面标准镜反射的参考球面波干涉，得到球面镜的面形信息。非球面干涉检测分为零位检测法和非零位检测法。①零位检测法，包括无像差点检测法、补偿镜检测法和计算全息等。由于参考光和被检光共光路，可以很好地消除干涉仪的非共路误差；但是要实现零位检测往往需要高精度的零位补偿器，并且补偿器须与待检非球面相对应。因此零位检测通用性较差，成本较高，但是检测精度也高，适用于高精度检测领域。