微执行器（micro-actuator），理学-力学-交叉力学-微纳米力学-微纳米机电系统，微机电系统（MEMS）、微流控系统及微机械人等微系统中的重要核心部分。微执行器是能够完成某一特定任务的执行元件，包括微驱动器、微阀、微泵、微混合器、微分离器、微喷等。微驱动器的致动方式有静电致动、压电致动、电磁致动、形状记忆合金致动、热致动、超导微致动、凝胶等高分子致动、直接光驱动、超声波致动等。微阀是微流控系统中对流体的流动进行开关控制的器件，可以分成主动阀、被动单向阀、被动止回阀。主动阀按驱动阀片的原理分类，又有气动微阀、热气动微阀、热致动微阀、压电驱动微阀、静电驱动微阀、电磁驱动微阀、电化学驱动微阀和表面张力微阀等。微泵是通过一定的驱动方式，使流体从一端流向另一端，或使两端的出口间产生一定的背压。微泵作为一种重要的微流动执行器件，是微流动系统发展水平的重要标志。微泵根据其有无可动阀片可分为有阀型微泵和无阀型微泵。根据工作方式分类，微泵分为容积泵、旋转泵、蠕动泵和电液致动泵等；根据驱动方式分类，微泵分为压电驱动泵、静电驱动泵、热致动泵和气动泵等。