硅超提纯(silicon purification),工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-[半导体材料制备]-材料超提纯,制备超纯元素硅的超提纯技术。半导体硅(Si)材料是制作电子器件和太阳能电池的基础材料,为了得到优越的器件性能或者较高的电池光电转换效率,需要精细地控制硅材料的电学性能。其基本思路是:利用高纯的硅材料,然后有控制地掺入电活性杂质,达到控制硅材料载流子浓度(电阻率)的目的。半导体硅材料对原材料多晶硅的纯度要求很高,一般要求达到99.999999%~99.9999999%,杂质的含量要降到十亿分之几(ppba)的水平,制备出来的多晶硅称为高纯多晶硅。其中纯度略低,应用在硅太阳能电池(光伏)产业的称为太阳能级多晶硅;而纯度较高,应用在微电子产业的一般称为电子级多晶硅。硅超提纯是在制备金属硅的基础上进行的。金属硅的制备过程是:利用纯度99%以上的石英砂(SiO2),在电弧炉中和焦炭或木炭在1800℃左右进行还原反应,生成纯度约为95%~99%的金属硅,又称为冶金硅、粗硅或工业硅。