偏振照明（polarization illumination），工学-光学工程-光学应用-光刻技术-光刻机-光刻机照明系统，以特定偏振照明模式进行曝光。随着芯片制造对光刻分辨率要求的不断提高，投影物镜的数值孔径不断增大，照明光偏振特性对成像对比度的影响也越来越大，偏振照明是超高数值孔径浸没式曝光系统重要的分辨率增强手段。采用偏振照明可以增大工艺窗口、改善成像对比度。浸没式光刻机中常用的偏振模式主要有非偏振、水平线偏振、竖直线偏振、水平-竖直线偏振和切向偏振（见图）。常用的偏振模式示意图衡量偏振照明性能的指标主要有偏振度（DOP）、偏振纯度（PP）和偏振强度（IPS）。偏振度是指完全偏振光的光强占总光强的比例，主要用于描述非偏振光的性能。偏振纯度是指完全偏振光中期望偏振态光强所占的比例，用于描述完全偏振光的性能。偏振强度是指期望偏振态的光强占总光强的比例，是评价偏振光性能的综合指标。