峰谷值(peak-to-valley value),工学-光学工程-材料与器件-光学设计与加工-光学检测-表面质量评价-峰谷值,在规定范围内波面峰值与谷值之差。在光学检测领域,峰谷值是评价镜面表面面形的指标之一。峰谷值即实际光学面形和理想光学面形最大正负偏差绝对值的和。通常认为峰谷值越大,光学面形的加工误差越小,反之,则越大。在光学元件检测中,峰谷值一直作为光学元件面形或波前的评价指标,但是峰谷值的评价方法有其原理上的缺点,两点峰谷值易受灰尘、脏点等影响,造成干扰极值点,特别是在大口径光学元件中这样的情况更容易出现,给面形或波前质量的评估带来很大的不确定性。所以,仅靠峰谷值描述方法并不能准确客观地描述光学元件的表面面形。随着数字干涉仪的出现,以及电荷耦合元件分辨率的提高,使得同时获取光学表面上多个离散点的面形信息成为可能,这就给光学表面面形的描述提供了更多空间,如均方根值等。