三维形貌仪是一种用于材料科学领域的分析仪器，于2016年3月7日启用。1.双LED光源（白光和绿光），工作模式分为VSI和PSI测试模式。垂直测量范围：0.1nm至10mm，全量程闭环扫描，无需缝合拼接。垂直分辨率：<0.1nmRa;RMS重现性：0.01nm；垂直扫描速度：优于47微米/秒；横向分辨率：最小0.08微米。2.样品台倾斜角度调制范围：不小于±6°；电动闭环控制样品台，移动范围150mm（xy轴）/100mm（z轴）；视场范围：不小于8.24mm，更大面积可用缝合功能。3.台阶测试精度：0.75%