化学束外延

（材料科学技术）

化学束外延（chemical beam epitaxy，CBE），材料科学技术名词，将金属有机源气体和非金属氢化物等气体形成的分子束流直接喷向加热的基底表面，发生反应并有序地排列起来形成外延层的外延生长技术。