热激电容谱

热激电容谱（thermally stimulated capacitance spectrum），材料科学技术名词，通过改变单边pn结或者肖特基结的空间电荷区宽度和结温来改变深能级的荷电状态，从而改变结电容，通过测量结电容的变化可以测出深能级杂质的浓度和发射参数电学测量技术。