电子真空泵

电子真空泵是用采用压电材料作动力装置（完全抛弃电动机驱动模式），从控制到驱动彻底实现电子化，以电子集成系统完全控制气体的交换与传输，从而实现气体传输的可调性、精准性。由于系统集成化，又不在使用电动机驱动加之主件气泵采用微型真空泵，使整个体系真正意义上实现了微型化，所以电子气泵又叫微型真空气泵。