X射线谱法是利用X射线或电子束激发试样产生的X射线，对试样所包含的某种元素进行定量定性分析的方法。射线是由于原子中的电子在能量相差悬殊的两个能级之间的跃迁而产生的粒子流，是波长介于紫外线和γ射线 之间的电磁辐射。其波长很短约介于0.01~100埃之间。具有很高的穿透本领，能透过许多对可见光不透明的物质，如墨纸、木料等。这种肉眼看不见的射线可以使很多固体材料发生可见的荧光，使照相底片感光以及空气电离等效应。波长小于0.1埃的称超硬X射线，在0.1~1埃范围内的称硬X射线，1~100埃范围内的称软X射线。X射线最初用于医学成像诊断和 X射线结晶学。X射线也是游离辐射等这一类对人体有危害的射线。