平整度测试系统，采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征，在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等，可在线和离线测量。■厚度、TTV、LTV、翘曲度、弯曲度、平坦度测量；■无接触测量；■无需校准；■高精度、高重复性；■样品台可选：4寸、6寸、8寸；■强大的分析软件，可显示3D表面形貌；■同时进行各种参数的测量，具备超高的测试速度；■TTV仪器简介 平整度测试系统，采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征，在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等，可在线和离线测量[1]。 仪器特点 ■厚度、TTV、LTV、翘曲度、弯曲度、平坦度测量；■无接触测量；■无需校准；■高精度、高重复性；■样品台可选：4寸、6寸、8寸；■强大的分析软件，可显示3D表面形貌；■同时进行各种参数的测量，具备超高的测试速度； 部分技术指标 ■TTV ■度：±0.1um ■重复性精度：0.01um ■厚度 ■度：±0.2um ■重复性精度：0.1um ■测试范围：50-2000um ■翘曲度/弯曲度■度：0.5um ■重复性精度：0.2um ■测试范围：200um ■整机参数 ■测量时间：<100秒 ■大测量尺寸：8寸 ■尺寸：550*602*291mm ■整机功率：800W