薄膜电感器是一种采用真空薄膜工艺制作的电感器，可靠性高，易于集成化和片式化，非常适合于自动化表面装贴技术(SMT)，并且由于其尺寸小，高频特性好等优点，已成为国内外研究的热点。简介随着信息技术的高速发展，要求电子系统中的元器件不断地向着小、轻、薄、精方向发展。在个人电脑、手机、数码相机，可视电话中，都需要通过升降压来完成电路电能的供给，而电感器是其中的主要部件之一。通过电感器的薄膜，可以使三维立体结构的磁心电感器向着二维平面结构发展，大大减少系统尺寸，并随着多种低能耗、高起始磁导率、高饱和磁化强度、宽工作温度范围的高频薄膜软磁材料的研制成功而使得制作高频薄膜电感成为现实 。薄膜电路薄膜电路是将整个电路的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件以及它们之间的互连引线，全部用厚度在1微米以下的金属、半导体、金属氧化物、多种金属混合相、合金或绝缘介质薄膜，并通过真空蒸发、溅射和电镀等工艺制成的集成电路。薄膜集成电路中的有源器件，即晶体管，有两种材料结构形式:一种是薄膜场效应硫化镉或硒化镉晶体管，另一种是薄膜热电子>放大器。混合工艺