双蒸发蒸镀
(材料科学 名词)
定 义采用两个电子束蒸发源,通过控制其各自的蒸发速率,改变两种蒸气的沉积速率比的镀膜方法。应用学科材料科学技术(一级学科),材料科学技术基础(二级学科),材料合成、制备与加工(三级学科),薄膜制备技术(四级学科)
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