硅氮烷

（其他材料科学相关）

硅氮烷六甲基二硅氮烷又称双(三甲基硅基)胺、六甲基二硅氮烷，或HMDS，分子式[(CH3)3Si]2NH。该物质是氨中两个氢原子被三甲基硅基取代的衍生物。六甲基二硅氮烷是一种无色液体，也是一种广泛应用于有机合成和有机金属化学反应重要试剂和主要成分。