侧向外延

（材料科学技术）

侧向外延（epitaxial lateral overgrowth），材料科学技术名词，带有掩模的图形衬底上进行外延时，横向生长速度快于纵向生长速度，导致起始的选择生长外延层扩展到窗口外并最终形成连续外延层的方法。