电子束胶对电子束可感光，聚甲基丙烯酸甲酯是使用得最多的电子束胶，但是聚甲基丙烯酸甲酯在应用时存在缺点，例如抗刻蚀能力差，粘合性差，耐酸碱性和耐温性差。电子束胶及电子束曝光在先进微纳结构的前沿开发中广泛应用，国内电子束光刻胶主要供应商来自国外，国内也有企业已经成功开发出多系列电子束光刻胶。在光的作用下能迅速发生光化学反应，产生物理或化学变化的高聚物称为感光性功能高分子，这类高分子已广泛地应用于印刷、电子、涂料等工业。例如在印刷工业中，感光树脂印刷版可代替传统的铅字印刷版。印刷工业上应用的聚乙烯醇酸酯，在光照时成为不溶解的产物，在溶剂冲洗时将保留下来，即得到印刷用的凸版。在大规模集成电路芯片中使用光刻胶可以在几平方厘米的面积上刻蚀成复杂的微纳米结构电路。