空分装置就是用来把空气中的各组份气体分离,分别生产空气组分的氧气、氮气,氩气等等气体的一套工业设备装置。最常用的空气分离方法是低温精馏法分离。低温分离方法通过压缩循环深度冷冻的方法把空气变成液态,经过低温精馏根据不同沸点而从液态空气中逐步分离生产出氧气、氮气及氩气等惰性气体的设备,广泛应用于传统的冶金、新型煤化工、大型氮肥、专业气体供应等领域。其它空气分离方法,如膜分离法、变压吸附法(PSA)和真空变压吸附法(VPSA)等,主要是应用于从空气中分离单一组分。而用于半导体器件制造的高纯氧、氮和氩需要低温精馏法。同样,稀有气体氖、氪和氙的可行来源是也使用低温精馏法。因此低温精馏法是最重要的空气分离方法。低温精馏法方法是先将空气冷却至液化,然后在不同的沸腾温度下选择性地蒸馏成分。该工艺可以生产高纯度气体,能耗高。低温分离过程要求热交换器和分离塔紧密结合,以获得良好的效率,所有制冷能量都由装置入口的空气压缩机提供。