干泵

干式真空泵即无油干式机械真空泵简称干泵，主要分为干式螺杆真空泵和涡旋式干两种。干泵腔内无任何润滑油，四对断面相同的转子，分别在它们各自的泵腔内固定在两个平行的轴上，用一对时限齿轮把它们连接并调整到使它们相互不接触，有一定的间隙。干泵工作时，泵腔容积不断周期性地发生变化，由大到小和由小到大，这样利用气体通道的启闭作用实现抽气作用，并且采用拼接成套的结构，细小杂质和灰尘可通过气道和气体一起排出泵外，泵的连续工作最大入口压力为5000Pa，可直排大气。