阴极溅射

（电器电子）
当真空室内的真空度为13Pa时，在阴阳两电极之间加上一定的电压，气体就会发生自激放电，从阴极发射出的原子或原子团可沉积在阳极或真空室的壁上。这种溅射就称为阴极溅射。
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