升华器

目前，升华泵仍是获得清洁超高真空的主要泵种之一。升华泵里由升华器连续或间断地将吸气剂(一般都用钛)沉积在泵的吸气面上达到抽气目的，其性能的优劣、运转可靠与否直接影响到泵的性能。不同口径、不同工作压强的泵要求的钛升华率和储量差别很大。对于口径一到二米的泵，若要求在工作压强低于1X 10托时达到抽速坪区，在吸气面上钛沉积率应有(0.5~1)X 10克/厘米·秒，要求升华器总升华率为1.5~3克/小时。为保证足够长的使用寿命，储钛量至少要有几百克。