半导体生产最核心的设备，超级电老虎

这是半导体制造公司生产芯片过程中必不可少的一种设备，是决定半导体生产工艺制程最核心的设备。目前，国际上能够生产这类设备的公司主要有荷兰的ASML和日本的尼康、佳能，还有中国的上海微电子。在这4家公司当中，ASML凭借着自家的EUV占据了绝对的高端，日本的尼康和佳能则多年难有进步，停留在中端，而上海微电子则只能生产部分的低端设备。这种设备产量极低，但价格高昂，而且保养极端讲究。以当今世界最先进的EUV为例，2019年年产量也就才26台，每台售价1.2亿美元，机器即便在不工作的时候也必须确保环境恒温、恒湿、无振动。为了防止地震带来的振动影响，放置机器的工厂还必须采用特殊的避震设计。这种设备是个超级电老虎，一台机器的用电量就几乎相当于一个小城市，而能量的利用率却低到令人发指。同样以EUV为例，其工作输出功率大概是250瓦，但输入功率却高达 125万瓦，能量利用率只有0.02%，这还不包括配备的辅助冷却系统耗电量。这就是。