掠入射调焦调平测量

掠入射调焦调平测量（grazing incidence focusing and leveling measurement），工学-光学工程-光学应用-光刻技术-光刻机-光刻机测量系统，以三角测量原理为基础的垂向测量方法，其通常采用双远心成像系统，并以较大的入射角在被测物表面成像。掠入射调焦调平测量主要应用在光刻机中，用于对硅片/玻璃基板等工件上表面的微纳形貌测量，并将测量值反馈到工件载体的执行机构，执行机构根据测量值，将所要曝光的工件区域运动至物镜的焦深范围内。