单晶硅谐振式传感器

单晶硅谐振式传感器，高性能单晶硅谐振压力传感器，采用电磁激励和电磁拾振方式工作，输出为频率信号，抗干扰能力强，稳定性好，不需A/D转换，既能测量绝压，也能测量差压。高性能单晶硅谐振压力传感器，也能测量差压，精度0.1%