外差激光干涉测量（heterodyne laser interferometer），工学-光学工程-激光器与激光技术-激光干涉测量-激光干涉测量技术-外差激光干涉测量，干涉光路中测量光和参考光波长（频率）不同，存在一个较小的频差，通过光路设计，使测量光与参考光相互干涉获得干涉信号，其本质是以激光波长作为测量基准，通过监测激光在参考臂、测量臂中光程差、相位差或频差的变化，获得被测目标的位移量或位移相关量。外差激光干涉测量见图1。在激光干涉测量中，双频激光器发出圆频率分别为和（对应真空波长分别为和）的双频正交线偏振激光束，此两种频率的激光束被偏振分光器件分离形成两部分光束，一部分光进入测量臂与被测对象产生作用，其相位、频率受被测量调制，另一部分光进入参考臂不与被测对象产生作用，在测量过程中其传播路径、相位和频率均保持不变。其中测量光经可移动被测目标反射、参考光被固定的参考目标反射，反射回来的测量光和参考光互相干涉获得干涉信号，干涉信号中包含被测量信息，但其中心频率远低于激光频率，在分光器件上的同一点汇合产生干涉光，光电探测器将干涉光转换成测量信号。