超精密光机系统（ultra-precision opto-mechanical system），工学-光学工程-光学应用-光刻技术-光刻机-光刻投影物镜，对光学元件进行精确空间定位与高精度面形支撑，同时实现物镜集成阶段的精密装调及使用阶段功能性补偿的光刻投影物镜。光刻物镜总长约1.2米、外径近700毫米，自重接近1吨，其中绝大部分重量来自复杂的光机结构。物镜光学元件的镜组结构分为内镜框与外镜筒两个单元，内镜框单元采用柔性结构，通过对元件进行多点均匀支撑或运动学支撑实现亚纳米级面形精度的保障；外镜筒单元负责对元件进行水平与轴向精确定位，实现镜组间的同轴级联装调。采用亚微米级在线检测、刀具轨迹补偿等超精密机械加工技术，实现镜组结构的基准面的形位公差、间隔隔圈的厚度公差等控制在1微米以内。在光刻工艺过程中，投影物镜需要适应具体工况下的热载荷，通过功能性像差（倍率、畸变、球差、彗差、像散、场曲等）补偿来抑制像质的动态劣化，确保图形精确曝光。物镜的20余个光学镜组中约50%为可调机构，包括偏心或轴向调节机构、变形镜组、6自由度可调反射镜组、曲面可变光阑等。