微机电加速度计

微机电加速度计（MEMS accelerometer），工学-航空宇航科学与技术-航天-导航、制导与控制-导航-惯性导航系统-加速度计-微机电加速度计，一种采用半导体批生产工艺加工微结构，并集成相关信号处理电路的微惯性器件。主要用来测量载体的加速度，并可通过积分，提供速度和位移的信息。与传统惯性器件相比，微机电加速度计具有体积小、质量轻、功耗小、启动快、成本低、可靠性高、易于实现数字化和智能化等优点，在军民两用方面有着广泛的应用前景。微机电加速度计的类型较多，按检测质量的运动方式来分，有角振动式和线振动式加速度计；按检测质量支撑方式来分，有扭摆式、悬臂梁式和弹簧支撑方式；按信号检测方式来分，有电容式、电阻式和压电式；按控制方式来分，有开环式和闭环式。微机电加速度计敏感加速度的原理仍与一般的加速度计相同。硅微挠性加速度计是一种具有代表性的微机电加速度计。硅微挠性加速度计采用闭环工作方式，它利用力平衡回路产生的静电力（或力矩）来平衡加速度引起的作用在检测质量上的惯性力（或力矩）。当无加速度输入时，两个电容器极板的间隙相等，电容量相等。