硅微加速度计

硅微加速度计（silicon micro-mechanical accelerometer），工学-航空宇航科学与技术-航天-导航、制导与控制-导航-惯性导航系统-加速度计-硅微加速度计，一种微电子技术和微机械加工技术相结合的惯性仪表。又称硅微机械加速度计。硅微机械加速度计的检测质量可以达到几毫克，硅微加速度计敏感元件采用单晶硅或多晶硅材料制作而成，加工工艺包括体微机械加工工艺、表面微机械加工工艺和LIGA（光刻、电铸和注塑）工艺等。硅微加速度计按照控制方式可分为开环工作方式和闭环工作方式，按照信号检测方式可分为电阻式、电容式和隧道电流式等。由于硅材料具有优良的电学性能和机械性能，而且加工手段较为完善，硅微加速度计成为加速度计发展的一个重要方向。硅微加速度计具有体积小、质量轻、结构简单、成本低、可靠性高、抗冲击等优点，以及可以大批量制造、一致性好等特点。在航空、航天、汽车、生物医学等诸多领域有着十分广阔的应用前景。硅微加速度计已接近惯性导航级水平，偏置稳定性达到μg量级，标度因数稳定性达到10×10-6。