X射线光波导（X-ray waveguide），工学-光学工程-光学应用-X射线光学-X射线光学器件，利用全内反射选择特定传导模式，进行X射线滤波和形成纳米尺度X射线微束的X射线光学器件。1974年E.斯皮勒和A.泽格米勒提出了X射线光波导的概念。1995年，S.拉戈马西诺等研制了基于X射线光波导的X射线微束聚焦系统，X射线光波导的结构与可见光或红外波段光波导的结构相似，主要有下包层（或称基底）、芯层和上包层。X射线辐射耦合进入X射线光波导芯层的方式有两种：①从上包层通过共振光束耦合的方式进入波导芯层。②通过端面耦合方式从X射线光波导的前端面进入波导芯层，然后激发传导模式沿波导芯层向前传输。根据波导结构的不同，X射线光波导分为平面X射线光波导和矩形X射线光波导；根据X射线辐射耦合进入波导芯层的方式不同，X射线光波导可分为共振光束耦合型和端面耦合型。虽然X射线光波导能够提供纳米尺度的X射线微束光斑，但其本质上是空间干涉滤波器，不具备聚焦效果。