声显微检测

声显微检测（acoustic microscopy detection），工学-控制科学与工程-检测技术与自动化装置-自动化元件-无损检测，无损、精密、灵敏地观察物体内部三维图像的方法。声显微检测用高频超声波检测工件，以获得高分辨力。其设备是声显微镜。入射到物体上的声波要发生反射、折射、衍射和吸收等声学现象，经历这些现象的声波因与物体发生相互作用而含有物体的信息，利用声波的某些物理效应把含有新信息的声波显示出来就实现了声成像。声显微镜可以显示观察材料内部与声学性质差别有关的微小结构，这是用普通光学显微镜和电子显微镜所不能观察到的。声显微镜分辨率与波长相当，当声波的频率为3×109Hz时,在水中的波长就达0.5μm，这时分辨率已和光学显微镜相近。声显微检测主要有3种方法：扫描声显微镜检测、扫描激光声显微镜检测和扫描光声显微镜检测。（1）扫描声显微镜检测。声显微镜检测技术中应用较为广泛的一种。应用高频聚焦换能器在被检物体待测部位表面扫描，物体表层或内部的不连续性可形成反射声波，再经透镜由换能器接收，经信号处理后配合机械方法进行扫描成像。（2）扫描激光声显微镜检测。